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磐諾A91應(yīng)用--高純六氟化硫及四氟化碳的分析方案

   

磐諾儀器A91氣相色譜儀在進(jìn)樣口、檢測(cè)器、輔助氣模塊都配以全進(jìn)口的自動(dòng)化氣體流量控制模塊。氫火焰離子化檢測(cè)器可自動(dòng)點(diǎn)火，氫氣泄漏自動(dòng)保護(hù)，安全可靠，特殊陶瓷化處理的放大板，在潮濕季節(jié)始終穩(wěn)定。配置全進(jìn)口的氣體、液體閥，可自動(dòng)控制，序列運(yùn)行，性能穩(wěn)定、操作方便。可配置16位液體自動(dòng)進(jìn)樣器。方案配置中采用當(dāng)前主流的意大利進(jìn)口毛細(xì)管色譜柱，性能卓越，使用壽命長(zhǎng)，可以達(dá)到良好的分離效果及峰形，提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

1.方案測(cè)定組分和范圍

A六氟化硫測(cè)定成分和測(cè)定范圍

測(cè)定成分	測(cè)定范圍
O2/Ar	20 ppb -50 ppm
N2	20 ppb -50 ppm
CF4	20 ppb -50 ppm
CO	20 ppb -50 ppm
CO2	20 ppb -50 ppm
C2F6	30 ppb -50 ppm
C3F8	30 ppb -50 ppm

B四氟化碳測(cè)定成分和測(cè)定范圍

測(cè)定成分	測(cè)定范圍
H2	20 ppb -50 ppm
O2/Ar	20 ppb -50 ppm
N2	20 ppb -50 ppm
CO	30 ppb -50 ppm
CH4（THC以甲烷計(jì)）	20 ppb -50 ppm
CO2	20ppb -50 ppm
SF6	20ppb -50 ppm
CH2F2	50ppb -50 ppm
CHF3	50ppb -50 ppm
C2F6	50ppb -50 ppm

2.方案流程和說(shuō)明

本方案配置兩個(gè)帶吹掃十通閥，二個(gè)帶吹掃六通閥，五根不銹鋼填充色譜柱，一個(gè)氦離子檢測(cè)器，一個(gè)氦氣純化器，一個(gè)零死體積穩(wěn)壓閥組等組成。

氟化硫及四氟化碳的分析流程圖

3分析過(guò)程

（1）本流程圖處于初始狀態(tài)，六氟化硫樣品沖洗定量環(huán)1，切換閥V1和V2從狀態(tài)OFF至ON，載氣1帶定量環(huán)1中的樣品進(jìn)入色譜柱5A 1#中進(jìn)行分離，大量的SF6從VENT 1#口放空，切換閥V2狀態(tài)從ON至OFF，O2、N2和CO在5A 2#柱中進(jìn)一步分離，被F PDD檢測(cè)到。切換閥V1從狀態(tài)ON切換為OFF，閥V4狀態(tài)從OFF切換為ON，載氣2帶著定量環(huán)2中的樣品進(jìn)入PQ 1#中分離，在SF6流出PQ 1#前將閥V3狀態(tài)從OFF切換為ON，載氣3帶著CF4、CH4和CO2進(jìn)入PQ 2# 中進(jìn)一步分離，被PDD檢測(cè)到，大量的SF6從VENT 2#口放空后，將閥V3狀態(tài)從ON切換為OFF，載氣2帶著C2F6和C3F8等氣體進(jìn)入PQ 2#中分離，被F PDD檢測(cè)到。

通過(guò)外標(biāo)法計(jì)算自動(dòng)得到各組分含量。

分析過(guò)程結(jié)束。

（2）本流程圖處于初始狀態(tài)，四氟化碳樣品沖洗定量環(huán)1，切換閥V1和V2從狀態(tài)OFF至ON，載氣1帶定量環(huán)1中的樣品進(jìn)入色譜柱5A 1#中進(jìn)行分離，大量的CF4從VENT 1#口放空，切換閥V2狀態(tài)從ON至OFF，O2、N2和CO、CH4在5A 2#柱中進(jìn)一步分離，被F PDD檢測(cè)到。切換閥V1從狀態(tài)ON切換為OFF，閥V4狀態(tài)從OFF切換為ON，載氣2帶著定量環(huán)2中的樣品進(jìn)入PQ 1#中分離，在CF4流出PQ 1#前將閥V3狀態(tài)從OFF切換為ON，載氣3帶著H2等進(jìn)入PQ 2# 中進(jìn)一步分離，被PDD檢測(cè)到，大量的CF4從VENT 2#口放空后，將閥V3狀態(tài)從ON切換為OFF，載氣2帶著CO2、SF6、CH2F2、和CHF3、C2F6等氣體進(jìn)入PQ 2#中分離，被F PDD檢測(cè)到。通過(guò)外標(biāo)法計(jì)算自動(dòng)得到各組分含量。

分析過(guò)程結(jié)束。