實驗室廢液處理、實驗室廢氣處理對于實驗室來說，都是至關重要的事情。因為這些廢液廢氣，可不像普通垃圾一樣，能隨便處理的。對于廢氣來說，處理方式有很多種。今天來說說低溫等離子體去除污染物的機理。
實驗室
(1) 電場＋電子→高能電子。
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團。
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱。
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱。
從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
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